“這一臺設(shè)備售價(jià)高達(dá)幾千萬元，我們必須密切關(guān)注用戶的生產(chǎn)狀況�！敝芎｝埥榻B，上方電子之前已成功研發(fā)出5.5代半導(dǎo)體顯示PVD設(shè)備。從2014年開始，在國家發(fā)改委和工信部聯(lián)合立項(xiàng)支持的國家裝備國產(chǎn)化項(xiàng)目支持下，公司主攻8.5代半導(dǎo)體顯示PVD設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，還順利完成8.6代新型顯示PVD的研發(fā)，并交付國內(nèi)顯示屏生產(chǎn)企業(yè)。
據(jù)了解，PVD設(shè)備是用于生產(chǎn)顯示面板的高端設(shè)備。我國是全球最大的顯示屏生產(chǎn)國，但顯示屏生產(chǎn)過程中用到的PVD等關(guān)鍵技術(shù)設(shè)備始終被美國和日本公司壟斷。直到2018年，上方電子在國內(nèi)成功完成8.6代PVD設(shè)備（8.5代升級后的產(chǎn)品）的研發(fā)，逐步打破這一行業(yè)的國外壟斷。
實(shí)現(xiàn)高端裝備的突破并不容易。上方電子100多名員工中，研發(fā)人員占百分之四十。其自研的PVD設(shè)備從5.5代升級到8.6代，設(shè)備的鍍膜面積增加了4倍多，涉及的零部件高達(dá)1.2萬個(gè)，需用到物理、機(jī)械、機(jī)電等六七門交叉學(xué)科，在攻克上萬個(gè)技術(shù)難點(diǎn)后，PVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)了功能性納米薄膜材料在大尺寸玻璃基板上的連續(xù)生產(chǎn)，納米薄膜均勻性在5%以內(nèi)，材料利用率超過80%，主要指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。目前，該設(shè)備已獲得17項(xiàng)國家發(fā)明專利。
“8.6代PVD設(shè)備的核心零部件鍍膜源之前主要依賴進(jìn)口�！惫炯夹g(shù)總監(jiān)麻春雷介紹，PVD設(shè)備研發(fā)最難的就是鍍膜源開發(fā)，為了攻克難題，上方電子成立了由技術(shù)、采購、品質(zhì)等組成的跨部門專項(xiàng)工作組，從機(jī)械設(shè)計(jì)、機(jī)械制造、裝機(jī)驗(yàn)證到方案優(yōu)化，持續(xù)迭代升級，歷時(shí)半年，成功開發(fā)了首款鍍膜源樣機(jī)，實(shí)現(xiàn)核心技術(shù)自主研發(fā)。
俗話說，一個(gè)好漢三個(gè)幫。上方電子得以順利實(shí)施國產(chǎn)裝備重大突破，離不開當(dāng)?shù)卣块T的精準(zhǔn)支持。通過當(dāng)?shù)囟悇?wù)部門的主動服務(wù)，上方電子今年享受研發(fā)費(fèi)用加計(jì)扣除高達(dá)1600余萬元，使得公司持續(xù)研發(fā)的決心更加堅(jiān)定。
讓“中國屏”鍍上“紹興膜”后，上方電子又有了新目標(biāo)。目前公司與北京交通大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、浙江工業(yè)大學(xué)等眾多高校合作成立研發(fā)中心，聚焦先進(jìn)裝備技術(shù)及其材料工藝研究。（浙江在線記者 夏丹 朱銀燕）
